(CrTiNbAlMo)N高熵氮化物涂层的可控制备与性能优化
编号：205
稿件编号：246 访问权限：仅限参会人
更新：2026-03-26 12:27:27 浏览：26次
口头报告
报告开始：2026年04月28日 11:20 （Asia/Shanghai）
报告时间：15min
所在会议：[EC] 摩擦学表面工程论坛C » [EC1] EC上午场
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摘要
摘要：多主元氮化物薄膜以其高硬度和良好的耐腐蚀性而著称。然而，其有限的断裂韧性往往会严重损害耐磨性能。本研究致力于通过高功率脉冲磁控溅射技术设计一种新型 (CrTiNbAlMo)N高熵氮化物涂层，并通过调控Ar/N₂气体流量比来提升其力学与摩擦学性能。结果表明，该高熵涂层呈现出单一的面心立方结构，并伴有严重的晶格应变。沉积过程中的高能粒子喷丸效应诱发了残余压应力的形成。涂层的硬度和结合强度均与Ar/N₂流量比相关，其数值随该比例增加而逐步提高，并在比例为3时达到最佳值。在此最优比例下制备的涂层获得了2000 HV的最大硬度和21 N的结合强度。相应地，该涂层也展现出最优异的摩擦学性能，其磨损率最低为2.34×10⁻⁶ mm³/N·m。
关键字
磁控溅射,高熵氮化物,结构,机械性能,摩擦学性能
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