稀土Ce/Y诱导铝合金表面酸性自修复与耐氟腐蚀机制研究
编号：217
稿件编号：228 访问权限：仅限参会人
更新：2026-03-26 12:27:54 浏览：32次
口头报告
报告开始：2026年04月28日 17:30 （Asia/Shanghai）
报告时间：15min
所在会议：[R] 腐蚀与防护技术论坛 » [R2] R下午场
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摘要
在半导体制造工艺中，关键装备零部件常面临严苛的酸性氟环境侵蚀，传统的表面防护策略在应对局部损伤时往往表现出防护连续性不足的局限。本研究提出了一种通过稀土元素（Ce/Y）共掺杂诱导表面原位修复的新策略，系统揭示了受损区域从活性溶解向稳定钝化转变的动力学特征。研究表明，Ce/Y离子的协同效应显著调控了界面微区化学环境，通过降低成核能垒诱导腐蚀产物向高致密度、多相络合盐体系的转变。这种伴随显著体积填充与界面封闭效应的原位重构过程，在受损部位构筑起一层强酸抗性的复合保护屏障，实现了腐蚀通道的原位自愈合。本研究揭示了稀土作用下氟铝酸盐体系的动态演变规律，为半导体装备关键材料在严苛氟环境下的长效服役提供了理论支撑。
关键字
铝合金,自修复,分子动力学,酸性氟腐蚀,稀土元素
报告人
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