氢原子辐照诱导非晶碳涂层摩擦学行为演变规律
编号：219
稿件编号：226 访问权限：仅限参会人
更新：2026-03-26 12:27:55 浏览：34次
口头报告
报告开始：2026年04月28日 17:20 （Asia/Shanghai）
报告时间：15min
所在会议：[EC] 摩擦学表面工程论坛C » [EC2] EC下午场
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摘要
针对半导体制造装备中氢等离子体引发的部件腐蚀与摩擦损伤难题，本研究采用分子动力学（MD）模拟方法，系统研究了氢辐照环境下非晶碳涂层（a-C）的界面动态结构演化及其摩擦行为演变规律。研究结果表明，非晶碳涂层表现出优异的耐氢腐蚀性能。机理分析揭示，辐照氢原子通过诱导涂层界面特征化学键的重组与演化，有效缓解了界面应变集中。此外，通过对比不同制备工艺参数下涂层的服役性能，发现制备工艺可调控非晶碳涂层的微观结构（杂化键含量、密度等），进而影响其在临氢服役环境中的性能。在此基础上，本研究构建并评估了四种机器学习模型，揭示了制备参数与结构特征之间的映射关系，为复杂工况下非晶碳涂层的设计与工艺优化提供了方法指导。
关键字
非晶碳涂层,分子动力学模拟,氢渗透屏障,制备工艺,摩擦学性能
报告人
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