氩氮比对磁控溅射制备CrN 陶瓷涂层微观结构与性能的影响
编号：222
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更新：2026-04-18 18:48:48
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口头报告
报告开始：2026年04月28日 18:00 （Asia/Shanghai）
报告时间：10min
所在会议：[B] 薄膜科技论坛 » [B2] B下午场
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摘要
摘要：CrN 陶 瓷 涂层具备高硬度、良好的耐磨性和抗腐蚀能力，在切削工具、发动机零部
件，航空航天等领域具有广阔应用前景。本文通过磁控溅射技术在Si(100)和TC4钛合金表
面制备了CrN 陶瓷涂层，并系统研究了以不同氩氮比对涂层微观结构及性能的影响。图1
表明，随着氩氮比升高，涂层颗粒逐渐细化，涂层厚度先降低后增加。图2表明，随着氩氮
比升高，涂层的显微硬度和弹性模量呈现先降低后增加的趋势，在氩氮比为 80/20时获得最
高的硬度和弹性模量，分别为 23.2GPa 和340.9GPa；摩擦磨损测试结果图3表明：所有涂层
均保持较低的摩擦系数，其中在氩氮比为60/60时获得的涂层具有最低的摩擦系数，摩擦系
数为0.073。磨损率结果图4表明，氩氮比为20/120时的涂层表现出最优的耐磨性（磨损率低
至0.39×10
-6
mm3 /(N·m)），较TC4 基体（磨损率为519.61×10
-6
mm
3
/(N·m)）提升了1332 倍。后
续工作将进一步研究氩氮比对涂层摩擦磨损行为的影响，深入阐述涂层的磨损机理，并为
开发新型氮化物陶瓷涂层提供了理论依据与工艺参考。
关键词：CrN；磁控溅射；摩擦磨损
关键字
CrN；磁控溅射；摩擦磨损
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