先进表面防护技术是提升高端装备核心竞争力的关键，更是推动制造业向精密化、长寿命方向发展的基石。磁控溅射技术作为实现这一目标的关键手段，却常因其固有的强度韧性不足、结合力不佳等问题，极易在服役工况下出现开裂、剥落等失效现象。为赋予磁控溅射薄膜更为强大的环境适应性与抗损伤能力，本研究创新性地提出一种“为磁控溅射薄膜穿上陶瓷盔甲”的高熵陶瓷强化策略。即采用微弧氧化技术在CoCrFeNiTi/Ti双层膜表面原位构筑陶瓷防护层，通过界面调控与微观结构设计，成功制备出具有"非晶疏松层-致密晶化内层"的复合高熵陶瓷相防护体系。结果表明：平均维氏硬度提升102.5%，薄膜剥离载荷（Lc3=16.47 N）较未处理薄膜（Lc3=9.73 N）高出40.92%，平均摩擦系数实现飞跃式提升。其主要机制为：利用微弧氧化在磁控溅射薄膜上生长出以SiO₂/TiO₂为主的高硬度非晶层，以及高熵元素掺杂于陶瓷相底部形成高熵陶瓷层。与磁控溅射非晶高熵薄膜共同构成了“外硬内韧”的高熵陶瓷梯度强化体系，实现了薄膜性能的大幅提升。
 

磁控溅射,微弧氧化,高熵陶瓷,摩擦学