钛合金因其比强度高、密度小等优点，被广泛用于发动机压气机叶片的制造，钛合金耐腐蚀性能好但质地较软、耐磨性能较差，易遭受冲蚀破坏。本研究针对压气机叶片表面耐腐蚀抗高温冲蚀防护需求，采用直流磁控溅射（DCMS）复合高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）在Ti6Al4V基体表面沉积了TiVCrNiSi高熵合金及其氮化物TiVCrNiSi（N）涂层。模拟服役工况开展室温盐雾（30℃，22h）和高温氧化（550℃，2h）交替循环试验及550℃高温砂粒冲蚀试验，考察涂层耐蚀性与抗高温冲蚀性能。结果表明，沉积的TiVCrNiSi高熵合金涂层呈现单一的非晶相结构；随着腐蚀循环的增加，涂层表面形成致密的Cr₂O₃和NaVO₃复合层；由于合金元素的扩散能力差异，氧化层和涂层之间形成连续致密的富Ni层，有效阻碍了腐蚀介质的内部扩散和金属离子的外部扩散；然而受限于非晶涂层硬度，其抗高温冲蚀性能提升效果有限。通过在非晶涂层中引入氮，反应溅射沉积制备的TiVCrNiSi（N）高熵氮化物（HEN）涂层；氮化物涂层在低氮含量下呈现单一非晶态，随着氮含量的增加，结构转变为面心立方晶体，在R_N2 = 20 sccm时氮达到饱和（46 at.%）；TiVCrNiSi（N） HEN涂层在R_N2 = 25 sccm时具有最高的残余压应力（8.2 GPa）和最高的硬度（23.5 GPa）；氮的掺入提升了涂层的抗高温冲蚀性能，随着 N 含量增加，涂层表面的砂粒嵌入量减少，与 HEA 涂层相比，在氮气流量为25 sccm 下制备的涂层在550℃下冲蚀后保持良好的完整性。

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