HiPIMS制备元素掺杂碳基自润滑薄膜的耐磨蚀性能及其作用机理研究
编号:98
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更新:2026-03-25 10:12:28 浏览:31次
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摘要
传统耐腐蚀薄膜在海洋环境中,尤其是在承受交变应力作用的机械部件间难以实现长期稳定服役。本研究采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术制备了新型AlCr/AlTi掺杂碳基多层薄膜体系,并系统研究了薄膜碳含量和调制周期参数对其电化学腐蚀性能、腐蚀磨损性能、力学性能及结合强度的影响。结果表明,通过“软硬交替”结构设计,薄膜与不锈钢基材的结合强度可提升至40N,并在载荷为4N条件下的点接触摩擦磨损实验中实现低于0.06的摩擦系数,成功开发出适用于海洋腐蚀介质中的非晶碳基自润滑薄膜体系,并通过微观观测与表征方法得出薄膜体系的耐腐蚀和减摩机理。该薄膜体系为以沉积工艺为主的碳基材料在腐蚀-磨损耦合的海洋工程环境中的应用提供了新的解决方案。
关键字
HiPIMS;元素掺杂;碳基自润滑薄膜;腐蚀-磨损
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